專利名稱： 具有耐腐蝕層的陶瓷制品、結(jié)合了該陶瓷制品的半導(dǎo)體加工設(shè)備以及制造陶瓷制品的方法
公開（告）號(hào)： CN1839216
申請(qǐng)（專利）號(hào)： 200480023787.8
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： M·A·辛普森;D·比耶爾
(申請(qǐng))專利權(quán)（人）： 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司
內(nèi)容：（摘要）提供了一種制品，該制品包括基材和在該基材上的耐腐蝕涂層。該基材通常主要由氧化鋁組成，耐腐蝕涂層與基材直接接觸，因此在基材和耐腐蝕層之間不存在中間層，例如高溫處理過(guò)程生成的反應(yīng)產(chǎn)物。耐腐蝕涂層通常主要由稀土氧化物組成，其粘合強(qiáng)度不小于約15兆帕。根據(jù)特定的實(shí)施方式，所述制品是用來(lái)加工半導(dǎo)體晶片的半導(dǎo)體加工設(shè)備中所用的陶瓷部件。
主權(quán)項(xiàng)：一種陶瓷制品，該制品包括： 主要由氧化鋁組成的基材；和 在所述基材上的主要由稀土氧化物組成的耐腐蝕涂層，所述耐腐蝕涂層與所述基材直接接觸，使該陶瓷制品在所述基材和所述耐腐蝕涂層之間不存在中間層，所述耐腐蝕涂層的粘合強(qiáng)度不小于大約15兆帕。
