專利名稱： 具有耐腐蝕層的陶瓷制品、結(jié)合了該陶瓷制品的半導體加工設備以及制造陶瓷制品的方法
公開（告）號： CN1839216
申請（專利）號： 200480023787.8
發(fā)明（設計）人： M·A·辛普森;D·比耶爾
(申請)專利權(quán)（人）： 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司
內(nèi)容：（摘要）提供了一種制品，該制品包括基材和在該基材上的耐腐蝕涂層。該基材通常主要由氧化鋁組成，耐腐蝕涂層與基材直接接觸，因此在基材和耐腐蝕層之間不存在中間層，例如高溫處理過程生成的反應產(chǎn)物。耐腐蝕涂層通常主要由稀土氧化物組成，其粘合強度不小于約15兆帕。根據(jù)特定的實施方式，所述制品是用來加工半導體晶片的半導體加工設備中所用的陶瓷部件。
主權(quán)項：一種陶瓷制品，該制品包括： 主要由氧化鋁組成的基材；和 在所述基材上的主要由稀土氧化物組成的耐腐蝕涂層，所述耐腐蝕涂層與所述基材直接接觸，使該陶瓷制品在所述基材和所述耐腐蝕涂層之間不存在中間層，所述耐腐蝕涂層的粘合強度不小于大約15兆帕。
